DLC Diamond-podobno prevleko je metastabilen amorfni tanki film, ki ima kakovostne značilnosti diamanta in grafita in ima prednosti dobre trdote, toplotne prevodnosti, nizkega koeficienta trenja, odlične električne izolacijske zmogljivosti, visoko kemijsko stabilnostjo itd., In se široko uporablja v proizvodnji biomedicina, biomedicina, elektronike in elektronike. DLC prevleka se pripravlja predvsem z metodo kopičenja fizikalne faze in kemično nakopičenostjo faze, izdeluje pa ga s posebno akumulacijsko opremo. Sledi kratek uvod v pet delov, ki sestavljajo opremo za nalaganje prevleke.
1. sistem za ogrevanje in hlajenje z vodo
Ogrevalni sistem in sistem za hlajenje z vodo se enakomerno porazdelita okoli prostora za nabiranje, temperatura ogrevanja, hitrost in volumen vode pa so nadzorovani in nastavljivi ter nameščena ustrezna alarmna naprava; Vrteče se sistem je nameščen na dnu akumulacijske komore in je izoliran z izolacijsko keramiko, hitrost vrtenja pa je mogoče nadzorovati in nastavljivo.
2. Vakuumski sistem
Vakuumski sistem je sestavljen iz mehanske črpalke, koreninske črpalke, difuzijske črpalke ter ustreznih krmilnih ventilov in meritev elementov, ki lahko prosto preklapljajo med visokim in nizkim vakuumom glede na zahteve procesa.
3. Sistem za oskrbo s plinom
Sistem za oskrbo s plinom je nameščen na vrhu akumulacijske komore, sorte plina pa vključujejo plin, ki vsebuje H2, N2, AR, CH2 in C2H2 in SI, dva vmesnika pa sta rezervirana na vrhu akumulacijske komore, da bi olajšali dodajanje drugih različic plinov v prihodnosti.
Da bi pridobili prehodno plast, ki vsebuje SI, se SIH4 običajno uporablja kot materialni plin, vendar je SIH4 bolj nevaren, zato izberemo manj nevaren plin, ki vsebuje SI kot vir SI pri obdelavi prevleke.
4. ciljni sistem za zlaganje
The equipment has two stacking units, PVD and PCVD, the primary intention of the PCVD unit is for the accumulation of diamond-like (DLC), the power supply selected is the pulse modulation power supply, the parameters can be adjusted one after another, after the adjustment of the parameters, the DLC coating of different hardness and thickness can be accumulated, and at the same time, after the adjustment of the workpiece card loading mode, Lahko se prevleče tudi na zapletenem obdelovancu; Primarni nameni PVD enote so: (1) Za različne podlage lahko različne cilje nadomestimo z različnimi cilji, razvijejo različne lepilne plasti ali kovinsko dopirane DLC prevleke, ki vsebujejo različne različice elementov; (2) Po zamenjavi cilja se lahko oblikujejo različne sestavljene prevleke "funkcionalnega sloja + DLC" za različne kategorije.
5. Sistem za nadzor električne energije
The electrical control system adopts PLC full active control, including host computer, PLC programmable controller, adaptation converter, control power supply, vacuum control power supply and measurement system, air supply control power supply, temperature control system, cooling water detection control power supply, etc. Before the furnace is opened, the coating process is edited and archived in the process editing interface, and the required process is called when the furnace is opened, and the equipment will be actively upravljali in spremljali v realnem času. Če obstaja težava, bo naprava prevzela pobudo za alarm, in glede na raven alarma bo naprava izbrala stanje "čakanja" ali se neposredno ustavila in še naprej deluje po odpravljanju alarma. Operacijski zapisi in zapisi alarmov vsake peči so aktivno shranjeni v računalniku za enostavno referenco. Glede na zahteve lahko opremo spremenite v popolnoma ročno delovanje, parametre prevleke pa lahko med postopkom prevleke prilagodite v glavnem operacijskem vmesniku.