Tehnologija brizganja je uporaba ionov za doseganje ciljnega materiala, atomi, ki jih ustvarijo z brizganjem na videz substrata, da tvorijo PVD prevleko. Običajno se plinska ionizacija zgodi s praznjenjem plina, njegovi pozitivni ioni pod učinkom električnega polja pa so z veliko hitrostjo udarili v katodno tarčo, pri čemer so izvlekli atome ali molekule katodne tarče in nato leteli na zunanjost prevlečenega substrata, da se nabirajo v PVD prevleko. Tehnologija magnetronskega brizganja je razvita na podlagi brizgajočega premaza v primerjavi z brizgalnim premazom, hitrost akumulacije je hitrejša, prevleka je gosta in ima dobro oprijem s substratom, ki je primerna za množično proizvodnjo PVD prevleke.
1. uravnoteženo brizganje magnetrona
Tradicionalna tehnologija za brizganje magnetrona je trajna magnetna ali elektromagnetna tuljava, nameščena za ciljnim materialom, ciljni material bo predstavljal magnetno polje, pravokotno na smer električnega polja. In the high-pressure effect of argon ionization into a plasma, Ar + ions accelerated by the electric field shelling cathode target, target secondary electrons are sputtered, and electrons in the perpendicular to each other under the effect of electric and magnetic fields, is bound in the cathode near the appearance of the target material, increasing the chance of collision of electrons and gases, that is, increasing the rate of ionization of argon, argon in the Z nizkim plinom se lahko vzdržuje pod praznjenjem, zato magnetron brizganje ne samo zmanjšuje tlak plina, ampak tudi izboljša moč. Zato magnetron brizganje ne le zmanjšuje tlak plina, ampak tudi izboljša moč brizganja in hitrost zlaganja.
Vendar ima tradicionalno magnetronsko brizganje nekaj pomanjkljivosti, na primer: nizkotlačni praznjenje elektronov in odrivanje ciljnih sekundarnih elektronov je vezan na ciljno površino v bližini območja približno 60 mm, tako da je mogoče obrod namestiti le v cilj zunaj območja od 50 do 100 mm. Tako majhno območje premaza omejuje lestvico obdelovanca, ki ga je treba obložiti, večji obdelovanci pa niso primerni za tradicionalne metode.
2. Neenakomerno brizganje magnetrona
Ta metoda magnetronskega brizganja za reševanje dela napak uravnoteženega magnetronskega brizganja je ciljna površina plazme v tarčo pred območjem 200 ~ 300 mm, tako da anodna substrat, potopljen v plazmo, zmanjšuje interval med delci, ki se igrajo v vlogi ion, da se vloga anodnega zlaganja. Vendar pa je ločen neuravnotežen magnetronski cilj na podlagi težko sestaviti enakomerno tanko filmsko plast in s tem nastajanje več ciljenja neuravnotežene tehnologije za brizganje magnetrona, da nadoknadi okvare enotnega neuravnoteženega magnetronskega brizganja.
3. Povratno magnetronsko škropljenje
Z razvojem inženirske tehnologije videza vedno več uporabe različnih sestavljenih tankih filmskih materialov. Sestavljeni materiali se lahko neposredno uporabijo za izdelavo ciljnega materiala s pomočjo brizganja za pripravo sestavljenih filmov, pa tudi pri razprševanju kovinskih ali zlitinskih tarč, vnosu reaktivnih plinov v vakuumsko komoro, skozi kemično reakcijo za pripravo sestavljenih filmov je ta metoda znana kot reverzno magnetno brizganje. Na splošno je čista kovina kot ciljni material in plin obratno lažje pridobiti visokokakovosten sestavljeni film, zato večino sestavljenega filma pripravimo z obratno brizganjem magnetronskega brizganja s čistim kovino kot ciljnim materialom.
4. Vmesno frekvenčno magnetronsko brizganje
Ta metoda prevleke je spremeniti napajanje z magnetronom iz tradicionalnega DC na srednje frekvenčno napajanje. V procesu brizganja, ko sistemska napetost v negativnem pol ciklu izmeničnega toka, je ciljni material pozitivno ioni, ki jih je obstreljeval in brizgal, v pozitivnem polkolu pa je ciljni materialni videz plazme v elektronski lunini in brizganju hkrati ciljni material videz kumulativnega pozitivnega naboja nevtraliziran. Srednja frekvenčna frekvenca napajanja z magnetronom je običajno med 10-80 kHz, visoka frekvenca, pozitivni ioni se pospešijo za kratek čas, energija cilja je nizka, hitrost akumulacije se zmanjšuje. Sistem srednjefrekvenčnega magnetronskega brizganja ima na splošno dva cilja, dva cilja se občasno vrtita, ko katoda in anoda na eni strani zmanjšata podlago; Po drugi strani je tudi oslabil pojav loka.
Zgoraj na splošno uvaja reprezentativne metode magnetronskega brizgalnega premaza, razvidno je, da je magnetron brizganje spretnosti prevleke po dolgem času, ki izhajajo iz številnih vej, ki predstavljajo različne značilnosti in se s tem širše uporabljajo, priprava zmogljivosti PVD prevleke je boljša. Če potrebujete povezane storitve ali želite izvedeti več, dobrodošli, da nas kontaktirate, da dobite potrebno vsebino.