Podjetje Lam Research je nedavno predstavilo svojega Dextro, prvega sodelovalnega robota na svetu, zasnovanega za vzdrževanje opreme za proizvodnjo polprevodnikov, in povedalo, da so robota uporabljale številne vodilne svetovne tovarne.
Dextro cobot je mobilna robotska ročna enota, nameščena na vozičku, ki jo nadzira proizvodni tehnik ali inženir za opravljanje treh ključnih nalog vzdrževanja opreme s pomočjo različnih "ročnih orodij":
2x natančnejši od človeške roke pri nameščanju in stiskanju potrošnega materiala;
Natančno zategovanje visoko natančnih vakuumsko zatesnjenih vijakov z do 5-odstotno stopnjo napak, ko človeški delavci to ponavljajočo nalogo izvajajo ročno;
Kakršno koli polimerno kopičenje na stranskih stenah komore je mogoče samodejno odstraniti, ne da bi razstavili spodnjo komoro, kar je prej zahtevalo težko opremo za zaščito dihal.
To pomeni, da lahko Dextro inženirjem tovarn pomaga razbremeniti pogosto zamudna, k napakam nagnjena ali nevarna vzdrževalna opravila, izboljša splošno natančnost procesa, zmanjša delovne zahteve, zmanjša količino odpadkov, skrajša čas izpadov in na koncu poveča izkoristek tovarne.
Lam pravi, da lahko en sam Dextro cobot služi za 50 do 100 komor za orodje Lam in je trenutno na voljo za podporo njegove serije orodij za dielektrično jedkanje Flex G/H, z razširitvijo na druga orodja in aplikacije, ki se začnejo leta 2025.
Kim Young Ju, podpredsednik in vodja ekipe za tehnologijo jedkanja spomina pri Samsung Electronics, je dejal:
Kadar proizvodna oprema zahteva vzdrževanje, je bistveno, da se delo opravi hitro in učinkovito, da se izognete daljšim izpadom orodja in izgubljenim stroškom.
Dextrovo vzdrževanje brez napak pomaga izboljšati variabilnost proizvodnje in donos. To je vznemirljiv mejnik za Samsung na poti do lastne tovarne.